
LEICA DM3 XL:微电子和半导体行业的检验、流程控制或缺陷和故障分析必须又快又准。为此,徕卡公司针对日常应用开发出高效能的 DM3 XL 检验系统。DM3 XL 检验系统提供一种独特的宏观物镜,视场达到 35.7 mm,比常规扫描物镜宽敞 微电子和半导体行业的检验、流程控制或缺陷和故障分析必须又快又准。 为此,徕卡公司针对日常应用开发出高效能的 DM3 XL 检验系统。

适用于所有相衬观察方法的 LED


产品详情
更多细节尽收眼底,工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件,DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下,缺陷无所遁形:
- 提高您的收益率
- 可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
- 检测不均匀的径向膜厚度

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温,并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
- 在所有亮度等级下实现真彩色成像
- 自由调节
- 无需更换灯泡 – 无停机时间
- 可复制的结果
由于 LED 使用寿命长,耗电量低,因此还具有巨大的成本节约潜力。

<h2 font-weight:400;line-height:1.3;color:inherit;font-size:2.0736rem;letter-spacing:0px;"="" style="box-sizing: inherit; font-family: inherit; font-weight: 500; line-height: 1.1; color: inherit; margin: 0px 0px 0.618em; font-size: 30px; padding: 0px;">工作舒适直观
彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化,有助于提升您的工作速度,并最大程度减少操作失误。
直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付最佳结果。
- 得益于可轻松操作的控件,用户可在切换对比度或照明时,双手继续操作显微镜,双眼专注于样品之上。
- 右手可轻松操控光强控制器
- 使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮,根据不同身高调整显微镜
